Berliner Industriegespräch: Extreme UV Lichtquellen für die Mikrolithographie der Zukunft
Extreme UV Lichtquellen für die Mikrolithographie der Zukunft
Diskussion
- Datum:
- Mi, 16.04.2008 18:30 – Mi, 16.04.2008 19:30
- Sprecher:
- Dr. Günther Derra, Principal Scientist, Philips Technologie GmbH, Aachen
- Adresse:
- Magnus-Haus Berlin
Am Kupfergraben 7, 10117 Berlin, Germany
- Sprache:
- Deutsch
- Kontaktperson:
- Dr. Dietrich Morawski,
- DPG-Vereinigung:
- Arbeitskreis Industrie und Wirtschaft (AIW)
Beschreibung
Leitung: Dr. Dietrich Morawski, DPG-AIW