Berliner Industriegespräch: Extreme UV Lichtquellen für die Mikrolithographie der Zukunft
Extreme UV Lichtquellen für die Mikrolithographie der Zukunft
Discussion
- Date:
- We, 16.04.2008 18:30 – We, 16.04.2008 19:30
- Speaker:
- Dr. Günther Derra, Principal Scientist, Philips Technologie GmbH, Aachen
- Address:
- Magnus-Haus Berlin
Am Kupfergraben 7, 10117 Berlin, Germany
- Language:
- Deutsch
- Contact person:
- Dr. Dietrich Morawski,
- DPG Association:
- Working Group on Industry and Business (AIW)
Description
Leitung: Dr. Dietrich Morawski, DPG-AIW