"Das hätte ich nicht gedacht! – Plasmaverfahren in Mobilkommunikation, Optik und Biotechnologie"

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Anwendung und Nutzung technischer Errungenschaften laufen heute häufig konträr zur Kenntnis der zugrunde liegende Wirkprinzipien. Gerade in der Mobilkommunikation werden technische Wunderwerke in einer Selbstverständlichkeit über alle Generationen genutzt, ohne, dass vielen Anwendern die Funktionsweise wirklich geläufig ist.

Vor allem im Umfeld der Mobilkommunikation hat sich in den vergangenen 15 Jahren eine neue Industrie etabliert, die sogenannte mechanisch-elektronische Mikrosysteme (MEMS) fertigt und anwendet. Zur Herstellung von MEMS-Bauelementen werden in der Regel ähnliche Produktionsverfahren wie in der Mikroelektronik genutzt, jedoch kommen meist ungewöhnliche Funktionsprinzipien und Materialien zum Einsatz. Neben großen Spielern bietet dieses Umfeld Chancen für neue Ideen und Firmen, vor allem im Ausrüstungs- und Zuliefermarkt.

scia Systems aus Chemnitz hat sich mit nunmehr fast 200 Mitarbeitern in den vergangenen 10 Jahren zu einem wichtigen Ausrüster zur Fertigung von MEMS-Bauelementen und Baugruppen für die Optikindustrie entwickelt. Unter Nutzung von Vakuumverfahren werden Produktionsanlagen zur Herstellung von Frequenzfiltern für die Mobilkommunikation, von optischen Komponenten für die Mikroelektroniklithographie, von Optiken für die Astrophysik und Sensoren für die Medizintechnik hergestellt. Alle eingesetzten Verfahren nutzen kontaktlose Plasma- und Ionenstrahlverfahren, mit denen sich Strukturdimensionen durch Materialabtrag oder Materialabscheidung im Nanometerbereich exakt einstellen lassen.

Bei der Veranstaltung bei uns im Hause möchten wir einige dieser vielgestaltigen Herstellungsverfahren und die Prinzipien der produzierten Bauelemente vorstellen. Für jeden Teilnehmer, gleich ob versierter Handynutzer oder Technikbegeisterter sollte etwas Interessantes dabei sein. Dabei sind nach dem Vortrag auch eine Abendverpflegung und für Interessierte eine Führung durch die Reinräume mit den in Produktion befindlichen Anlagen geplant.